主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置(掩膜版(mask),投影掩膜版(reticle))

8418292000 电气吸收式家用型冷藏箱 8418299000 其他家用型冷藏箱 8418301000 制冷温度≤-40℃的柜式冷冻箱(客积不超过800升) 8418302100 制冷温度＞-40℃大的其他柜式冷冻箱(大的指容积＞500升, 8418302900 制冷温度＞-40℃小的其他柜式冷冻箱(小的指容积≤500升) 8418401000 制冷温度≤-40℃的立式冷冻箱(容积≤900升) 8418402100 制冷温度＞-40℃大的立式冷冻箱(大的指容积＞500升,但≤ 8418402900 制冷温度＞-40℃小的立式冷冻箱(小的指容积≤500升) 8418500000 装有冷藏或冷冻装置的其他设备,用于存储及展示(包括柜、箱、展 8418612010 压缩式制冷机组的热泵(介质为氢、氦的可冷却到≤23K且排热> 8418612090 其他压缩式热泵,品目8415的空气调节器除外 8418619000 其他热泵,品目8415的空气调节器除外 8418692010 其他压缩式制冷设备(介质为氢或氦,可冷却到≤23K且排热>1 8418692090 其他制冷机组 8418699010 带制冷装置的发酵罐(不发散气溶胶,且容积大于20升)